【三星电子本月初在华城园区引入 ASML 生产的 HighNA 极紫外光刻设备】三星电子本月初在其华城园区引入了 ASML 生产的 HighNA 极紫外光刻设备,旨在提升 2 纳米及以下制程此举措由(FNnews)报道